CS1270E Co-Evaporation System für Metalle
- Cluster-System für CIGS-Solarzellen
- 3 Eingabe-/Ausgabeschleusenkammern, Transferkammer, Prozesskammer
- Heizen, Bedampfen, Tempern
- 125 mm x 125 mm
Anwendung
- Bedampfen von Metallen für CIGS-Solarzellen
- Substratvorbehandlung durch Heizen und Substratnachbehandlung durch Kühlung
- Bearbeitung von Glassubstraten auf Carrier, Substratabmessungen 125 mm x 125 mm, 2 mm dick, vertikale Substratlage
- F&E
Technologie
Substrat-Vorbehandlung
- Heizung, in der Depositionskammer
Substrat-Nachbehandlung
- Kühlung, in der Depositionskammer
Deposition
- Substratbearbeitung schrittweise, nach Anfahren der jeweiligen Station
- Bedampfen von Cu, In, Ga
- Se-Behandlung
anlage
Schleusenkammer
- 3 Edelstahlkammern
- Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum-Pumpsystem
- Maschinen-Magazin für 25 Substrate
Transferkammer
- Edelstahlkammer
- Vakuum-Roboter
- Rechteck-Schieber zur Prozesskammer
CIGS-Depositionskammer
- Edelstahlkammer, heiz- und kühlbar mit Wasser
- Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum-Pumpsystem, Kühlfalle
- Substratheizstation
- Prozess-Substratheizer
- 3 kundenspezifische Verdampfer
- Substratkühlsystem
- Substratträger für 24 Substrate
- Antriebssystem zum schrittweisen Anfahren der Bearbeitungsstationen
- Startdruck ≤ 5 ∙10-7 mbar
