Schlüsselkomponenten
Angebote für unsere F&E+Pilotsysteme und zur Nachrüstung von vorhandenen Systemen, die von uns geliefert wurden.
Bedampfen
Dual Filament Effusion Cell
CT CHALCO
Verdampfungsmaterial: Se, S ...
Tiegelvolumen: 200 cm3
Leistung: max. 900 W (Eff.-Zelle) und 500 W (Hot-lip)
| Integrationsbedingungen/Ausführung: |
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Dual Filament Effusion Cell
CT CIG
Verdampfungsmaterial: Ga, In, Cu
Tiegelvolumen: 150 cm3
Leistung: max. 560 W (Eff.-Zelle) und 1100 W (Hot-lip)
| Integrationsbedingungen/Ausführung: |
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Dual Filament Effusion Cell
CT Si-DOP
Verdampfungsmaterial: Siliziumdotanten
Tiegelvolumen: 100 cm3
Leistung: max. 1300 W (Eff.-Zelle) und 700 W (Hot-lip)
| Integrationsbedingungen/Ausführung: |
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Elektronenstrahlverdampfer
FT EV M-6
Verdampfungsmaterial: Cr, Cu, Al, Ag, Ti ...; SiO2, Ta2O5 ...; Mehrfachschichten; Beschichtung großer Flächen
Tiegelvolumen: 4 x 8 cm3
Leistung: ≤ 5000 W
| Integrationsbedingungen/Ausführung: |
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Jet-Verdampfer
JE 15
Verdampfungsmaterial: Al, Mg...
Tiegelvolumen: 500 cm3
Leistung: 15000 W
| Integrationsbedingungen/Ausführung: |
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