Schlüsselkomponenten

Angebote für unsere F&E+Pilotsysteme und zur Nachrüstung von vorhandenen Systemen, die von uns geliefert wurden.

Übersicht

Vertikal Inline

Horizontal Inline

Substrathalterung und -manipulation

Substrathalter, stationär
Edelstahl, Aluminium, Molybdän, Graphit
Anwendung: Stationäre Prozesse; PECVD, Sputtern, Ätzen, Tempern, Bedampfen

Merkmale:

mit/ohne Carrier; mit/ohne Heizer
elektrisch geerdet, floatend oder biasfähig
He-Kühlung auf Anfrage
mit/ohne Liftsystem zur Substratübergabe/-übernahme, Elektrodenabstandseinstellung

Drehteller
Edelstahl, Aluminium, Molybdän
Anwendung: Dynamische und stationäre Prozesse; Sputtern, Ätzen, Bedampfen

Merkmale:

Zum schrittweisen Anfahren von Bearbeitungsstationen oder zur Beschichtung im Multiple-Pass-Mode

Wagen
Edelstahl, Molybdän
Anwendung: Drehung des Substrates für Änderung der Prozessierung von face-up zu face-down und umgekehrt, komplexe
Clustersysteme

Merkmale:

Substrattransport
elektrisch geerdet, floatend oder biasfähig

Substrat-Wendesystem
Edelstahl
Anwendung: Drehung des Substrates für Änderung der Prozessierung von face-up zu face-down und umgekehrt, komplexe Clustersysteme

Merkmale:

Im Vakuum, ohne Substratoberflächen-Kontakt

Substrat-Transfer-Roboter
BA-MAG 7
Anwendung: Cluster-Systeme

Merkmale:

Substrat-Ø ≤ 300 mm
Transportierbare Masse ≤ 1000 g
Substrattemperatur ≤ 120 °C
3 Bewegungsachsen
Ein- oder zweiarmig
Magnetischer Direktantrieb
Arbeitsdruck ≤ 10^-8 mbar