Schlüsselkomponenten
Angebote für unsere F&E+Pilotsysteme und zur Nachrüstung von vorhandenen Systemen, die von uns geliefert wurden.
Thermische Behandlung
Strahlungsheizer
Inconel-Heizer, Halogenlampen-CFC-Heizer
Anwendung: Substratkonditionierung und -heizung vor, nach und während der Beschichtung
Merkmale: Substrattemperatur > 100 oC, Heizung von Rück- oder Vorderseite
Substrathalter
CFC-Mäander
Anwendung: Substratkonditionierung und -heizung vor, nach und während der Beschichtung
Merkmale: Max. Heizer-Oberflächentemperatur > 1000 °C
Substrathalter
Mantelrohrheizer in Aluminium
Anwendung: Substratkonditionierung und -heizung vor, nach und während der Beschichtung
Merkmale: Max. Heizer-Oberflächentemperatur 450 °C; geeignet für plasmachemische Reinigung
Substrathalter
Mantelrohrheizer in Edelstahl
Anwendung: Substratkonditionierung und -heizung vor, nach und während der Beschichtung
Merkmale: Max. Heizer-Oberflächentemperatur 900 °C
