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Wafer - photovoltaik  

Grundlage kristalliner siliziumbasierter Photovoltaikmodule sind Solarzellen, die aus ca. 0,2 mm dicken monokristallinen oder polykristallinen Siliziumscheiben (Wafer) hergestellt werden. Je nach Zelltechnologie ist es notwendig, verschiedene dünne Schichten mit antireflektierender und passivierender Wirkung (Si-Oxid, Si-Nitrid, Al-Oxid etc.) auf Vorder- und Rückseite abzuscheiden. Die Kontaktschicht wird heute in den meisten Fällen als Metallgitter im Siebdruck aufgebracht. Neuere Zellkonzepte mit höherer Effizienz erfordern z. B. auch transparent leitfähige Oxide auf der Vorderseite der Zelle und/oder ganzflächige Metallisierung auf der Rückseite.

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Das Aufdampfen einer Aluminiumschicht durch den Einsatz unserer über viele Jahre hinweg entwickelten Elektronenstrahltechnologie ermöglicht diese Metallisierung mit hoher Performance und zu sehr niedrigen Kosten.

Varianten für die Abscheidung dünner Schichten bei der Herstellung photovoltaischer Zellen auf Basis von kristallinem Silizium:

  • Metallisierung/Hochrateabscheidung durch Elektronenstrahlverdampfen
  • Metallisierung durch Sputtern dünner metallischer Schichten
  • Abscheidung transparent leitfähiger Oxide durch Sputtern
  • Erzeugen passivierender und antireflektierender Beschichtungen durch Sputtern

Zur Umsetzung stehen weitere Maschinenplattformen zur Verfügung:

  • PIA|nova®
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