themen & Technologien
In unseren Projekten bearbeiten wir schwerpunktmäßig folgende Bereiche:
TCO - STROMLEITER MIT DURCHBLICK
Transparent leitfähige Oxide (TCO - transparent conductive oxides) sind unverzichtbar für die Funktion von Flachdisplays, Solarzellen oder OLEDs. Die TCO-Schichten weisen je nach Anwendung und Zusammensetzung eine sehr hohe Transparenz im sichtbaren oder Infrarotspektrum auf. Gleichzeitig sind sie leitfähig, um elektrisch aktive Schichten verlustarm kontaktieren zu können, ohne dass dabei der Durchtritt des Lichtes aus oder in die aktive Schicht nennenswert behindert wird. Sie bestehen in der Regel aus Metalloxiden und werden auf verschiedene Weise abgeschieden.
Neben ihren optischen und elektrischen Eigenschaften müssen TCO-Schichten auch mittels Laser strukturierbar sein und für bestimmte Anwendungen in der Photovoltaik eine spezielle Oberflächentopographie mittels Ätzen erhalten, um das eingestrahlte Sonnenlicht einfangen zu können.
Entwicklungen bei VON ARDENNE
Die Entwicklungsarbeiten bei VON ARDENNE konzentrieren sich auf dotierte Zinkoxid-Schichten (AZO), die mittels Magnetron-Sputtern von zylindrischen Targets großflächig abgeschieden werden.
Durch die gezielte Entwicklung einer industriell umsetzbaren Prozesstechnologie konnten mit diesen Schichten in a-Si/µcSi-Dünnschicht-Solarzellen die Eigenschaften der Referenzzellen des Forschungszentrums Jülich erreicht und auf großen Flächen (Gen5 Formaten) nachgewiesen werden. Weitere Arbeiten auf diesem Gebiet zielen auf die Entwicklung kostenoptimierter Herstellungsprozesse für TCO-Schichten und auf eine Verbesserung der Funktionen, die gezielt an die jeweilige Anwendung angepasst werden können.
