Modulare Prozess Systeme
Ursprünglich als Kleinanlagenbau konzipiert, besteht dieses Geschäftsfeld bei VON ARDENNE seit 2006 als selbständige Struktureinheit.
Grundlage ist eine modular strukturierte Maschinenplattform, in der sich Vielseitigkeit und Flexibilität, Effektivität, Innovationsfähigkeit und technologische Expertise des Hauses VON ARDENNE widerspiegeln. Hier entstehen Inline-, Cluster-, Load Lock- und Batchtype-Systeme für Forschungs- und Pilotaufgaben, zunehmend auch für Produktionszwecke bei Substraten kleinerer Abmessung.
Mit der Herstellung modularer Kleinbeschichtungsanlagen ermöglicht VON ARDENNE seinen Kunden, eine vollautomatisierte Metallisierung spezieller Bauteile mit komplizierter Geometrie vorzunehmen.
Komponenten und Schichtfolge werden je nach spezifischem Kundenwunsch entwickelt und zur Umsetzung gebracht.
Produktinformationen:
CS250SCluster System
[Download: *.pdf; 0,16 MB]
CS500PSPECVD Cluster System
[Download: *.pdf; 0,32 MB]
CS730SCluster System
[Download: *.pdf; 0,22 MB]
CS850SCluster System
[Download: *.pdf; 0,27 MB]
CS850SUHV Cluster System
[Download: *.pdf; 0,21 MB]
KA540Sputter Plant For Small-Sized Parts
[Download: *.pdf; 0,16 MB]