VON ARDENNE hat seit vielen Jahren eine Vielzahl von Magnetrons mit planaren Targets für ein breites Anwendungsspektrum entwickelt und installiert, sowohl für traditionelle Gleichstromverfahren als auch für moderne Wechselstrom- oder bipolare Prozesse. Wide Single Magnetrons (WSM) werden seit jeher bei den meisten Gleichstrom-Anwendungen für die Abscheidung von Silber- oder Blocker-Schichten für der Herstellung von Wärmedämmglas (Low-E) eingesetzt. Sie vereinen hohe Schichthomogenität mit hoher Target-Materialausnutzung und sichern dem Kunden damit lange Produktionszyklen.
WSMT – T-Series Magnetrons: VON ARDENNE hat die Sputter-Quellen-Technologie mit Turbomolekularpumpen kombiniert, um eine neue Komponentenklasse zu schaffen: die T-Series Magnetrons.
WSM/WSMT Magnetrons
Technologiekompetenz