WSM/WSMT Magnetrons

VON ARDENNE hat seit vielen Jahren eine Vielzahl von Magnetrons mit planaren Targets für ein breites Anwendungsspektrum entwickelt und installiert, sowohl für traditionelle Gleichstromverfahren als auch für moderne Wechselstrom- oder bipolare Prozesse. Wide Single Magnetrons (WSM) werden seit jeher bei den meisten Gleichstrom-Anwendungen für die Abscheidung von Silber- oder Blocker-Schichten für der Herstellung von Wärmedämmglas (Low-E) eingesetzt. Sie vereinen hohe Schichthomogenität mit hoher Target-Materialausnutzung und sichern dem Kunden damit lange Produktionszyklen.

WSMT – T-Series Magnetrons: VON ARDENNE hat die Sputter-Quellen-Technologie mit Turbomolekularpumpen kombiniert, um eine neue Komponentenklasse zu schaffen: die T-Series Magnetrons.