RMM Magnetrons

RMM Multi-Mode-Magnetrons mit rotierenden Targets basieren auf VON ARDENNE RDM Doppelrohr-Magnetrons. RMMs verbessern die Flexibilität des Beschichtungsprozesses, da sie sowohl im Wechselspannungs- als auch im Gleichspannungsmodus arbeiten können. Bei Gleichspannungsprozessen ermöglicht das optimierte Anodendesign dem Anwender eine hohe Zuverlässigkeit, hohe Abscheidungsraten und stabile Prozessbedingungen. Für den optimalen Betrieb empfehlen wir eine bipolare Stromversorgung.

Technologiekompetenz
Production/Internet/Live