VAprocos2 Prozess-Steuerungssystem

VON ARDENNE ist seit 1980 führend bei reaktiven Sputterprozessen. Darüber hinaus bieten wir seit vielen Jahren unser Prozess-Steuerungssystem VA PROCOS an und haben dieses kontinuierlich optimiert.

Unser aktuelles System VA PROCOS 2 steuert das reaktive Magnetron-Sputtern von Verbundschichten (wie z.B. ITO, TiO2, TiN, Al2, O3, AlN, SnO2, SiO2, Si3N4, ZnO, ZrO or Ta2O5 ) und sorgt für zuverlässige Stabilität der Arbeitspunkte an den kritischen Übergangsbereichen. VAprocos2 steuert ebenso zuverlässig ein oder mehrere Einlässe für Reaktivgase (z.B. Oxynitride).

VA PROCESS SOLUTIONS [PDF]
Technologiekompetenz
Production/Internet/Live