Flash Lamp Annealing (Kurzzeittempern mit Blitzlampen)

Temperprozesse sind in der Dünnschichttechnologie häufig das Mittel der Wahl, um elektrische oder optische Eigenschaften zu verbessern. Herkömmliche Temperprozesse sind jedoch energie- und zeitintensiv. Darüber hinaus verursachen sie thermo-mechanische Spannungen im Substrat, die zu Defekten führen können. Hinzu kommen lange Aufheizvorgänge, die in der Dünnschichttechnologie zu Diffusionsprozessen führen und den Einsatz zusätzlicher Barriereschichten erforderlich machen. Der Fertigungsprozess wird somit aufwändiger.

Demgegenüber bietet Flash lamp annealing entscheidende Vorteile: es verursacht keine oder nur sehr geringe thermo-mechanische Spannungen im Substrat und Diffusionsprozesse werden unterdrückt. Damit sind zusätzliche Barriereschichten überflüssig. Flash lamp annealing verbessert optische und elektrische Eigenschaften. VON ARDENNE hat den Einsatz dieser Technologie an Architekturglasbeschichtungen erfolgreich demonstriert. Darüber hinaus konnten elektrische Eigenschaften wie z.B. der Schichtwiderstand von Produkten im industrienahen Labormaßstab erheblich verbessert werden.

Vielversprechende Anwendungen sind transparent-leitfähige und Sol-Gel-Schichten auf Kunststoff und Glas sowie zur Behandlung von Lacken und Farben. Außerdem können mittels FLA haptische oder mechanische Eigenschaften von Folien und dekorativen Schichten verbessert werden.

Wir bieten unsere Kompetenz in der Flash lamp annealing-Technologie an, um gemeinsam mit unseren Partnern weitere Anwendungen zu entwickeln.

Leitfähige Schichten wie Metalle und Metallpasten, Metalloxide, Halbleiter für
- Photovoltaik
- Displays
- OLED

Entspiegelungs-, Korrosionsschutz- und kratzfeste Sol-Gel-Schichten für
- Haushaltsprodukte und Architektur
- Automobilindustrie
- Photovoltaik

Reflektierende und dekorative Schichten wie Farben, Lacke und Verbundwerkstoffe für
- Oberflächenveredelung
- Verpackung 
- Automobilindustrie

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Technologiekompetenz
Production/Internet/Live