VA TRIM & SHIM TOOL

Das VON ARDENNE Online Trimming und Shimming Modul ist eine web-basierte Software, die die schnelle Optimierung der Gleichmäßigkeit der Dicke ("% range") einzelner dünner Schichten ermöglicht.

Nach der Eingabe eines gemessenen Dickenprofils und der aktuellen Trimmgaseinstellungen schlägt die Software neue Trimmgaseinstellungen vor, die zu einer verbesserten Schichthomogenität führen.

In gleicher Weise können die optimalen Einstellungen für die Magnetbars ("shimming") berechnet werden.

Anwendung:

- Automatische Einstellung der Homogenität nach dem Targetwechsel
- Pit Stop Korrektur der Langzeitdrift des Dickenprofils

Ihre Vorteile:
- Einstellungssuche im Trial-and-error-Verfahren wird durch eine praxiserprobte mathematische Methode ersetzt
- die bestmögliche Einstellung wird in der Regel schon nach 3 bis 4 Single-Layer-Tests erzielt und die Wartungszeit wird reduziert
- verbesserte Produktqualität
- ermöglicht Anwendungen mit hohen Anforderungen an die Homogenität
- einfach und benutzerfreundlich zu bedienen
- läuft auf jedem Gerät mit Internetverbindung und einem Browser, z.B. PC-Arbeitsplatz, Smartphone, ...

PLASMA COMPONENTS
Technologiekompetenz
Production/Internet/Live