RDM/RDMT Magnetrons

RDM Doppelrohr-Magnetrons mit rotierenden Targets sind für eine Vielzahl von Wechselspannungs- und Gleichspannungsprozessen geeignet mit einem Leistungsspektrum zwischen 10 und 180 Kilowatt. Sie können mit verschieden Magnetarten ausgestattet werden und bieten ein vollintegriertes Gaseinlasssystem für optimale Prozesssteuerung.

RDMT – T-Series Magnetrons: VON ARDENNE hat die Sputter-Quellen-Technologie mit Turbomolekularpumpen kombiniert, um eine neue Komponentenklasse zu schaffen: die T-Series Magnetrons.

T-Series Magnetrons [pdf]
Technologiekompetenz
Production/Internet/Live