RSM/RSM-RSMT/RSMT Magnetrons

RSM Rohr-Magnetrons mit rotierendem Target sind für eine Vielzahl von Gleichspannungsprozessen geeignet mit einem Leistungsspektrum zwischen 10 und 180 Kilowatt. Sie können mit verschieden Magnetarten ausgestattet werden und bieten ein vollintegriertes Gaseinlasssystem für optimale Prozesssteuerung.

RSMT – T-Series Magnetrons: VON ARDENNE hat die Sputter-Quellen-Technologie mit Turbomolekularpumpen kombiniert, um eine neue Komponentenklasse zu schaffen: die T-Series Magnetrons.

Außerdem haben wir alle T-Series Magnetrons mit rotierenden Targets mit den neuen X-Series Endblöcken ausgestattet.

T-SERIES MAGNETRONS [PDF]
Technologiekompetenz
Production/Internet/Live