CLUSTER-Systeme

Modulare Prozesssysteme

VON ARDENNE Cluster-Systeme sind ideal geeignet, die technologischen Anforderungen von Forschungseinrichtungen zu erfüllen sowie die von Kunden, die eine Anlage zur Massenfertigung benötigen.

Dies ist besonders zutreffend was die Entwicklung von neuen Beschichtungstechnologien angeht sowie von Schichtsystemen mit spezifischen Eigenschaften und einer hohen Reproduzierbarkeit.

Die Systeme können individuell für verschiedene Aufgaben konfiguriert werden: bis zu sieben Prozesskammern und eine oder mehr Schleusenkammern können um eine zentrale Transferkammer angeordnet werden. Alle Kammern sind voneinander getrennt, sowohl was das Vakuum angeht als auch im Hinblick auf Ihre Steuerungstechnik.

Unsere Cluster-Systeme sind für die Verarbeitung von kundenspezifischen Substraten geeignet, mit einem maximalen Durchmesser von acht Zoll oder mit Abmessungen von 200 mm x 200 mm. Für kleinere Substrate, oder Substrate mit ungewöhnlichen Formen, werden Carrier verwendet.

Übersicht

Anwendung: Architekturverglasung, Automobilbau, Batterietechnik, Brennstoffzellentechnik, Displays & Touchpanel, Grundlagenforschung, LED Beleuchtung, Mechatronik (MEMS, MOEMS), Medizinische Geräte, organische LEDs, Photovoltaik, Präzisionsoptik, Sensoren

Substratform: dreidimensional, flexibel, plan/eben

Substratmaterial: Glas, Stahl, Wafer

Beschichtungstechnologie: ALD, Elektronenstrahltechnologie, Hot-wire CVD (HWCVD), Magnetronsputtern vertikal, Magnetronsputtern von oben nach unten, Magnetronsputtern von unten nach oben, Plasmaunterstützte CVD(PECVD), Thermisches Verdampfen

Funktion: Aktive OLED-Schicht, anti-fingerabdruck, Antireflexion, Diffusionsbarriere, Kontakt, Korrosionsschutz, Passivierung, Primer, Reflexion, semiconductor, Sonnenschutz, TCO, Wärmeschutz, wave length filter

Schichten & Schichtstapel: Double-Low-E, Low-E, Solar Control, Triple-Low-E

Passende Komponenten & Systeme:
Elektronenstrahlkomponenten
Sputter-Komponenten
Vorbehandlung
Messsysteme & Software


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