VON ARDENNE bietet neben unseren großen Inline-Beschichtungsanlagen für größere Substrate wie GC330H und PIA|nova® auch kleinere Inline-Systeme für ebenso vielfältige Anwendungen.
Diese Systeme erfüllen viele technologische Anforderungen und sind dadurch ideal für den Einsatz in Forschung und Entwicklung aber auch für die Serienfertigung. Zur Entwicklung neuer Beschichtungstechnologien eignen sie sich ebenso wie zur Herstellung von Schichten mit definierten Eigenschaften und hoher Reproduzierbarkeit.
In unseren standardisierten Anlagen können Substrate von 400 und 750 mm und in speziellen Lösungen von bis zu einem Meter Beschichtungsbreite bearbeitet werden.
Die Inline-Systeme sind als Vertikal- (VISS) und Horizontalanlagen (HISS) verfügbar. Sie lassen sich modular konfigurieren und setzen sich zusammen aus: Be- und Entladestationen, Eingabeschleuse, Vorbehandlungskammer, Beschichtungskammer und Ausgabeschleuse. Die Vakuumkammern sind durch Kammerventile voneinander getrennt. Bei der Konstruktion haben wir besonderen Wert auf eine hohe Benutzer- und Servicefreundlichkeit gelegt. Gute Zugänge für die Wartung und ein einfacher Target-Austausch sind nur zwei Beispiele dafür.
INLINE-Systeme
Modulare Prozesssysteme
Übersicht
Anwendung: Architekturverglasung, Automobilbau, Batterietechnik, Brennstoffzellentechnik, dekorative Beschichtungen, Displays & Touchpanel, Grundlagenforschung, LED Beleuchtung, Mechatronik (MEMS, MOEMS), Medizinische Geräte, organische LEDs, Photovoltaik, Präzisionsoptik, Sensoren
Substratform: dreidimensional, flexibel, plan/eben
Substratmaterial: Glas, Stahl, Wafer
Beschichtungstechnologie: ALD, Elektronenstrahltechnologie, Hot-wire CVD (HWCVD), Magnetronsputtern vertikal, Magnetronsputtern von oben nach unten, Magnetronsputtern von unten nach oben, Plasmaunterstützte CVD(PECVD), Thermisches Verdampfen
Funktion: Absorption, Aktive OLED-Schicht, anti-fingerabdruck, Antireflexion, Dekoration, Diffusionsbarriere, Kontakt, Korrosionsschutz, Passivierung, Primer, Reflexion, semiconductor, Sonnenschutz, TCO, Wärmeschutz, wave length filter
Schichten & Schichtstapel: Double-Low-E, Low-E, Solar Control, Triple-Low-E
Passende Komponenten & Systeme:
Elektronenstrahlkomponenten
Sputter-Komponenten
Vorbehandlung
Messsysteme & Software
