Die SCALA ist eine modulare Vakuumbeschichtungsanlage mit einem Carrier-basierten Substrattransportsystem. Die Anlage ist speziell für kristalline PV-Anwendungen auf Siliziumwafern konstruiert, wie wie zum Beispiel TCO- oder Metallschichten für Heterojunction-Solarzellen (HJT).
Sie kann aber auch für Dünnschichtphotovoltaikanwendungen auf Glas oder andere Anwendungen auf flachen Substraten angepasst werden.
Dank ihrer modularen Bauweise kann die SCALA den Kundenwünschen entsprechend konfiguriert werden. Wir bieten zwei Basiskonfigurationen dieser Anlage an.
Die SCALA LabX ist eine Anlage für der Bearbeitung von Wafern in Chargen, sogenannten Batches. Sie wird von einem Ende be- und entladen und ist mit oder ohne Schleusenkammer erhältlich. Die Anlage ist ideal für die Prozess- oder Anwendungsentwicklung im Labormaßstab.
Die SCALA PilotX hingegen ist für den Inline-Betrieb konstruiert und deshalb für die Pilotproduktion geeignet.
SCALA
Modulare Beschichtungsanlage
Übersicht
Anwendung: Architekturverglasung, Brennstoffzellentechnik, Mobile Geräte, Photovoltaik
Substratform: dreidimensional, plan/eben
Substratmaterial: , Aluminium, Edelstahl, Glas, Polymer, Wafer
Beschichtungstechnologie: Elektronenstrahltechnologie, Magnetronsputtern von oben nach unten, Magnetronsputtern von unten nach oben
Funktion: Antireflexion, Dekoration, Kontakt, Korrosionsschutz, kratzfest, Passivierung, Sonnenschutz, TCO, Wärmeschutz, wave length filter
Schichten & Schichtstapel: Ag, Al, AlOx, AZO, C, Co, Cr, Cu, Double-Low-E, ITiO, ITO, Low-E, Ni, NiV, Si, SiN, SiOx, Solar Control, Ti, TiOx, Triple-Low-E, Zn
Passende Komponenten & Systeme:
Sputter-Komponenten
Vorbehandlung
Messsysteme & Software
