XENIA

Wafer- & Glasbeschichtungsanlage

Die XENIA ist eine Inline-Beschichtungsanlage und basiert auf VON ARDENNE's firmeneigener Sputter-Technologie für die Großflächenbeschichtung. Durch ihre Breite und die damit verbundene Wirtschaftlichkeit unterstützt die Anlagenplattform vor allem die Anforderungen nach höchster Produktivität bei sehr niedrigen Betriebskosten. Sie ist außerdem für andere kleine wie auch sehr dünne Substrate geeignet. Ein Anwendungsgebiet für die XENIA ist die Herstellung von hocheffizienten Solar-Produkten.

Das Beschichtungssystem XENIA kann modular mit drehbaren Magnetrons zum Sputtern verschiedener Materialien ausgerüstet werden: darunter Metalle, Metalloxide sowie Hochleistungs-TCO-Schichten. Spezielle Maßnahmen zur Substratvorbehandlung (z.B. Reinigung oder Ätzen) können entweder vor Eintritt des Substrats ins Vakuum oder auch im Vakuum vorgenommen werden.

Die XENIA profitiert von der Erfahrung aus mehr als 140 Beschichtungsanlagen, die wir bei unseren Kunden aus der PV-Branche installiert haben. Sie ist die perfekte Wahl für Kunden, die eine hochproduktive und flexible Fertigungsanlage kombiniert mit bewährter Technologie und Bauart suchen.

Übersicht

Anwendung: Photovoltaik

Substratform: plan/eben

Substratmaterial: Glas, metals, Polymer, Wafer

Beschichtungstechnologie: Magnetronsputtern von oben nach unten

Funktion: Antireflexion, Kontakt, Passivierung, TCO

Schichten & Schichtstapel: Ag, Al, AlOx, AZO, Cu, ITiO, ITO, Ni, NiV, Si, SiN, SiOx, Ti, TiOx, Zn

Passende Komponenten & Systeme:
Sputter-Komponenten


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