Die OPTA X ist unser System für die anspruchsvollsten Schichtsysteme, insbesondere für Multilagenwechselschichtoptiken mit hoher Anzahl.
Die Beschichtung erfolgt horizontal und es stehen verschiedene Prozesse für eine optimale Beschichtung zur Verfügung: Meta Mode, CARS* oder reaktives und nicht reaktives Sputtern.
Auf fünf Ports können Magnetrons und/ oder Plasmaquellen integriert werden. In-situ-Messtechnik zur Verfolgung und Korrektur des Beschichtungsfortschritts steht ebenfalls zur Verfügung.
Die Anlage besitzt ein automatisches Handlingsystem. Es ist modular aufgebaut und ermöglicht eine sichere Bestückung der OPTA X mit unterschiedlichen Substraten, die in anpassbaren Carriern durch die Anlage geschleust werden.
Je nach Prozess- und Produktivitätsanforderungen können verschiedene Modultypen, z.B. mehrere Magazinschleusen oder Vor- und Nachbehandlungskammern, kombiniert werden.
*Fraunhofer IST
