OPTA X

Drehteller-Beschichtungsanlage

Die OPTA X ist unser System für die anspruchsvollsten Schichtsysteme, insbesondere für Multilagenwechselschichtoptiken mit hoher Anzahl.

Die Beschichtung erfolgt horizontal und es stehen verschiedene Prozesse für eine optimale Beschichtung zur Verfügung: Meta Mode, CARS* oder reaktives und nicht reaktives Sputtern.

Auf fünf Ports können Magnetrons und/ oder Plasmaquellen integriert werden. In-situ-Messtechnik zur Verfolgung und Korrektur des Beschichtungsfortschritts steht ebenfalls zur Verfügung.

Die Anlage besitzt ein automatisches Handlingsystem. Es ist modular aufgebaut und ermöglicht eine sichere Bestückung der OPTA X mit unterschiedlichen Substraten, die in anpassbaren Carriern durch die Anlage geschleust werden.

Je nach Prozess- und Produktivitätsanforderungen können verschiedene Modultypen, z.B. mehrere Magazinschleusen oder Vor- und Nachbehandlungskammern, kombiniert werden.

*Fraunhofer IST

Übersicht

Anwendung: Halbleiterbauteile, Präzisionsoptik

Substratform: dreidimensional, plan/eben

Substratmaterial: Glas, Polymer, Wafer

Beschichtungstechnologie: Magnetronsputtern von oben nach unten, Magnetronsputtern von unten nach oben

Funktion: , Antireflexion, Reflexion, wave length filter


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