TOMA X

Trommelbeschichtungsanlage

Die TOMA X ist eine modulare Plattform für flexible Multilagenbeschichtung. Sie ist für anspruchsvollste Schichtsysteme konstruiert, insbesondere für Multilagenwechselschichtoptiken von unterschiedlich großen Substraten. Während der Beschichtung befinden sich die Substrate in speziellen Carriern, die auf das jeweilige Substrat angepasst werden können.

Die Beschichtungsrichtung ist vertikal. Verschiedene Prozesse wie reaktives oder nicht reaktives Sputtern sind implementiert. Mit einer Plasmavorbehandlung können die Oberflächen zuvor gereinigt und aktiviert werden.

Auf bis zu fünf Ports können Magnetrons und/oder Plasmaquellen integriert werden. Außerdem steht entsprechende In-situ-Messtechnik zur Verfolgung und Korrektur des Beschichtungsfortschritts zur Verfügung.

Der modulare Aufbau der TOMA X erlaubt einen reinen Batch-Betrieb. Optional kombiniert mit automatischem Handling in einer Transferkammer ermöglicht dies nicht nur eine benutzerfreundliche, sichere Bestückung des Systems, sondern auch eine erhöhte Prozesssicherheit durch die permanente Konditionierung der Prozesskammer. Spätere Nachrüstungen sind möglich, so dass die Anlage mit ihren Aufgaben wachsen kann.

Übersicht

Anwendung: Präzisionsoptik


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