VON ARDENNEが高精度光学フィルター用スパッタリングシステム「OPTA X」を発売
第1号となるシステムはフラウンホーファー薄膜・表面技術研究所 (IST) に導入
このたび、高精度干渉光学フィルター膜形成用として新たに開発されたターンテーブルスパッタリング装置 「OPTA X」が、VON ARDENNEより発表されました。この新システムにより、ドイツのドレスデンに拠点を置くVON ARDENNEの光学精密コーティング技術/装置のポートフォリオがさらに拡大されます。
VON ARDENNEでは、すでに2018年の時点で精密光学分野への参入を決めており、光学分野向けの製膜ソリュー ションの長い伝統に基づく新たな挑戦が始まっていました。そのようにして開発が始まったOPTA Xは「Laser World of Photonics 2019」で初めて発表され、業界の強い関心を集めました。顧客の直接の要求を反映し、こ の技術コンセプトはさらに市場ニーズを取り込み、最適化が進みました。
その結果、精密光学分野における特殊な要求を満たし、柔軟性の高いプラットフォームソリューションが完成し ました。この装置を使うことで、平面だけでなく曲面においても欠陥が極めて少ない薄膜を形成することがで き、数百層にも及ぶ非常に複雑なコーティングデザインも実現します。ここで最優先となるのは、コーティング の極めて高い精度と均一性です。製膜プロセスは用途に応じて異なり、金属モード、反応性モード、メタモー ドなどに対応します。
最初の成功は、2019年11月にフラウンホーファー薄膜・表面技術研究所 (IST) における落札でした。精密光学 分野で定評があり、優れた技術力を持つこの研究所を、新プラットフォームの顧客として獲得したことは、この 技術コンセプトが認められた最初の一歩となりました。将来的には、この装置で高さ70mmまでの2D/3Dコンポ ーネントに光学精密コーティングを施す研究ができるようになります。
製膜幅が200～300 mmまでの小面積を持つ精密光学部品への応用によって、OPTA Xは、VON ARDENNEの製品ラ インナップをさらに拡大します。本製品の発売は、この分野向けに適切なソリューションを提供し、成長を続 ける光学コーティング市場への取り組みを強めていくという企業目標と密接に関係しています。
VON ARDENNE グループの精密光学分野の現在のポートフォリオは、イオンビームスパッタリング装置（子会社scia Systems GmbH）から、新しいOPTA X、すでに確立されているVISSプラットフォーム、そして最大サイズの精密光学基板用 のインライン成膜装置GC120Vまで多岐にわたっています。 VON ARDENNEは、フラウンホーファー研究機構のいくつかの研究所と長年にわたって連携していますが、この 度、この名高い研究機構内のISTを新たなパートナーとして迎えられることを歓迎しています。
