大面積基板用にVON ARDENNEがコスト重視のフラッシュランプアニーリングソリューションを開発、最大3.8mの基板幅における建材ガラス製膜に適用できることを実証しました (図1)。
半導体産業に使用されているような小面積基板には、すでにフラッシュランプアニーリングが商品化されています。しかし幅1.5m以上の基板の場合、現在のフラッシュランプアニーリングソリューションでは、複数のフラッシュランプアレイを組み合わせなければならないのでコストが高くつきすぎました。複雑な装置の組み立てにはかなりの資本支出が必要になるので、コスト重視の産業の企業にとって基本的に入手が困難でした。大面積基板用にVON ARDENNEは最大3.8mの基板幅にも適したアニーリングテクノロジーを提供します。