プレスリリース

VON ARDENNEがコスト重視の産業向けフラッシュランプアニーリングを提供

大面積基板用にVON ARDENNEがコスト重視のフラッシュランプアニーリングソリューションを開発、最大3.8mの基板幅における建材ガラス製膜に適用できることを実証しました (図1)。  

半導体産業に使用されているような小面積基板には、すでにフラッシュランプアニーリングが商品化されています。しかし幅1.5m以上の基板の場合、現在のフラッシュランプアニーリングソリューションでは、複数のフラッシュランプアレイを組み合わせなければならないのでコストが高くつきすぎました。複雑な装置の組み立てにはかなりの資本支出が必要になるので、コスト重視の産業の企業にとって基本的に入手が困難でした。大面積基板用にVON ARDENNEは最大3.8mの基板幅にも適したアニーリングテクノロジーを提供します。 

図1:建材ガラス製膜用3.8mランプアレイ

図1:建材ガラス製膜用3.8mランプアレイ

図2:搬送システム付き1.7mランプツール

図2:搬送システム付き1.7mランプツール 

高い生産率と大面積基板のために、VON ARDENNEは以下のようなメリットを持つユニークなフラッシュランプテクノロジーを提供します: 

  • サイクル時間を最小化することで、生産性を向上
  • すぐれた電気および光学特性を可能に
  • VON ARDENNEランプアレイコンセプトのおかげで非常に高い均一性
  • ランプの長さが3.8m以下の大面積R2R & S2Sプロセッシング
  • コスト重視の産業向けの効率的な機械設計 

このテクノロジーは他の多層膜構造にも応用できます。ラボの規模では透明導電層の透明性と導電性がフラッシュランプアニーリングによって顕著に向上しました。

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