プレスリリース

VON ARDENNEがフラウンホーファー・フォトニック・マイクロシステム研究所にMEMS製造用クラスターシステムを供給

VON ARDENNEがフラウンホーファー・フォトニック・マイクロシステム研究所 (IPMS) から薄膜蒸着用の新しいクラスタースパッタシステムCS400Sを発注されました。この投資はドレスデンに拠点を置く同研究所のクリーンルームを200mmウェハテクノロジーに対応できるよう拡張するプロジェクトの一部です。CS400Sを設置することによって、フラウンホーファーIPMSとVON ARDENNEは、MEMSおよびMOEMSと呼ばれる微小電気機械システムおよび光微小電気機械システム(光MEMS)用の高度反射層システムの開発・生産を推進します。このシステムで生産されるMEMSは、例えば半導体リソグラフィとスキャナーミラーに使用されるマイクロミラーアレイです。これらのミラーは産業アプリケーションにぴったり合っています。

このCS400SはVON ARDENNEがこれまで組み立てた中で最大のクラスターシステムの一つです。このシステムはマガジンロードロックチャンバー2室、前処理チャンバー1室、プロセスチャンバー5室によって構成されています。チャンバーは、アライメントステーションを統合した中央処理ユニットの周りに集まっています。システムのクラスターデザインにより、基板を真空から移動させる必要なく、複数の層の連続的なin situ製膜が可能になります。

入札ではVON ARDENNEは、いくつかの著名な企業を抑えて採用されました。フラウンホーファーIPMSのエンジニアリング部長のマティアス・シュルツェ博士は、「私たちが決定するにあたって重要だったのは二つの要素でした。一つは私たちがすでに150mmのウェハの製膜にVON ARDENNEの装置を使っていたということです。何年にもわたって良好な提携関係を築き、経験を共有してきたことから、CS400Sもすぐれたシステムだと期待できたのです。もう一つは、MEMSおよびMOEMSアプリケーションのための新しいプロセスを開発するのにこのツールが最大の柔軟性を提供するということでした」と説明しています。フラウンホーファーIPMSの所長、ハラルド・シェンク教授は、「新しい機械プラットフォーム、そしてVON ARDENNEとの戦略的な提携は、私たちの研究・開発およびパイロット製造活動の持続的な拡張にとって重要なカギとなる成功要因です」と語っています。

プロセスモジュールの柔軟性の高いことがこのシステムのメリットの一つです。MEMSに最高の層特性を得るためにチャンバーをDC、パルスDC、RFスパッタリングプロセスに使うことができます。VON ARDENNEプロセスチャンバーは、反応性スパッタリング法の使用中にプロセスをすばやく安定させます。長期にわたってプロセスの安定性を維持し、層の高い均一性を得るために、ターゲット-基板間の距離を広範囲に調整できます。高品質の層を可能にしているCS400Sのもう一つの特徴がPIDスパッタリング圧力制御システムです。

フラウンホーファーIPMSとVON ARDENNEは、双方が産業用途のアプリケーションをさらに多く開発し、市場に売り出せるよう緊密な提携の確立を計画しています。このことは互いの提携、または顧客との提携によって行われます。両者の持つ専門ノウハウとスパッタシステムの柔軟性のおかげで新しい要求に調節することが簡単になります。

VON ARDENNEのCEO、トーマス・クリシュケは、「フラウンホーファーIPMSとの提携はVON ARDENNEにとって非常に重要です。フラウンホーファーIPMSはMEMSの開発で世界的にリードしている組織であり、当社が半導体産業に新しい事業分野を開いていくのを助けてくれます」と述べています。

VON ARDENNEクラスタースパッタシステムCS400S
画像著作権:© VON ARDENNE Corporate Archive

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フラウンホーファー・フォトニック・マイクロシステム研究所 (IPMS)

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VON ARDENNE GmbH

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*フラウンホーファー・フォトニック・マイクロシステム研究所 (IPMS) について


フラウンホーファー・フォトニック・マイクロシステム研究所 (IPMS) はドレスデンに拠点を置き、光学センサー、アクチュエータ、ASIC、マイクロシステム (MEMS/ MOEMS)、ナノテクノロジーの分野で研究・サービスパートナーです。

フラウンホーファーIPMSは、応用科学を振興する最大の団体、フラウンホーファー協会の67の独立研究所の一つです。職員280人のフラウンホーファーIPMSは、経済と社会に直接役立つプロジェクトに取り組み、産業界の企業、サービスプロバイダー、公共機関と協力しています。フラウンホーファーIPMSはフラウンホーファー・マイクロエレクトロニクス・グループ(ドイツでの略号:VμE)の一部で、マイクロエレクトロニクス、ナノテクノロジー、マイクロシステムに関する様々な地域および国際ネットワークに携わっています。

フラウンホーファーIPMSは1500㎡のクリーンルーム(ISO 14644-1、クラス4)を持ち、マイクロエレクトロニクス、マイクロシステムテクノロジーの分野で研究・開発プロジェクトに取り組む為に利用しています。そのほか、いくつかのプロセスステップおよびプロセスモジュールに関するサービスとサーフェスおよびバルクMEMSテクノロジーに関する研究所の専門ノウハウに基づくあらゆるテクノロジーを提供しています。HV-CMOSプロセスと組み合わせて、フラウンホーファーIPMSは統合アクチュエータシステムを生産しています。

*VON ARDENNE GmbHについて


VON ARDENNEはガラス、ウェハ、金属箔、ポリマー膜といった材料に工業製膜するための装置を開発・製造しています。これらの製膜は表面に新しい機能特性を与えます。製膜の薄さは1nmから数μmまで用途によって異なります。被膜付き材料は、建材ガラス、ソーラーパネルまたはタッチパネルといった製品の基礎となります。

VON ARDENNEは建材ガラス製膜装置と薄膜太陽電池コーティングシステムのリーディングサプライヤーです。中国、日本、マレーシア、台湾、米国に支社をもち、家族経営企業のVON ARDENNEは理想的な現場サービスを提供できるよう顧客への近さを大切にしています。VON ARDENNEの装置は世界50か国以上で稼動しています。

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