WSM/WSMT Magnetrons

VON ARDENNEマグネトロンは幅広い用途に利用可能です。先進のスパッタリング装置の設計および設置から得られた長年の経験により、VON ARDENNEはACプロセスからDCプロセスまで、平板型から回転型アプリケーション、さらにはターボポンプ内蔵マグネトロンにいたるまで幅広い種類のソリューションを提供しています。

Tシリーズ マグネトロン [PDF]
テクノロジーコンピテンス
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