RMM Magnetrons

RMM回転式マルチモードマグネトロンはVON ARDENNE RDM回転式デュアルマグネトロンをベースにしています。DCおよびACの両方のモードを使えるのでRMMではプロセスの柔軟性が向上しています。DCプロセスではアノード設計が最適化されているので、高信頼性、高速度の製膜で安定したプロセス条件が可能です。最適な運用のためには2極式電源を推奨します。

テクノロジーコンピテンス
Production/Internet/Live