VAprocos2 Process Control System

1980年より、VON ARDENNEは反応性スパッタリングプロセスの分野においてリーディングカンパニーの位置にあり続けてきました。そして、長年にわたり、プロセスコントロールシステム「VA PROCOS」を提供し、最適化してきました。

VON ARDENNEの現在のモデルVA PROCOS 2は、化合物層(ITO、TiO2、TiN、Al2、O3、AlN、SnO2、SiO2、Si3N4、ZnO、ZrO、Ta2O5など)の反応性マグネトロンスパッタリングを制御し、重要な遷移領域において作用点の固定を確実にしています。さらに本システムは、1種あるいは複数の反応性ガス導入も制御します(例:酸窒化物)。

PLASMA COMPONENTS
テクノロジーコンピテンス
Production/Internet/Live