LION® - Linear Ion Source

VON ARDENNE リニアイオン源 LION®は前処理と表面改質に適したコンポーネントです。炭化水素を取り除くのに役立ち、アルゴンや、必要に応じて追加酸素で作動します。

LION®のイオンビームは強く収束され、高エネルギー性です。したがって物理的エッチングを必要とするインライン製膜システムに理想的なデバイスです。シンプルで頑丈な設計のおかげで、イオン源は容易に規模を変えられます。

LION®のメインアプリケーションとなるのは、大面積ガラス製膜と金属箔製膜です。仰角調節可能なリモート取り付けバージョンまたはフランジ取り付けバージョンで入手可能です。

テクノロジーコンピテンス
Production/Internet/Live