Advanced Heating Control System

VON ARDENNEの先進的な加熱制御システムは、製膜プロセス前およびプロセス中に基板の加熱を信頼性の高い、均一なものにするための世界で最初のソリューションです。本システムは操作が簡単なのが特徴で、生産プロセスの効率性を向上させ、運用コストを下げるのに役立ちます。基板温度を小さな許容差内で迅速かつ確実に設定でき、温度均一性が高いので、立上げ時間が短くなり、破損と廃棄を最小限にします。

VON ARDENNEの先進的な加熱制御システムは、コーティングシステムPIA|nova®、XEA|nova®、FOSAにおける加熱処理の標準コンポーネントです。

既存のVON ARDENNEシステムはこの加熱制御システムでアップグレードできます。

先進加熱コントロールシステム [pdf]
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