In-Situ Measurement

製膜業界では、製膜した製品の技術特性だけが品質保証 (QA) にとって重要であるわけではありません。短い立上げ時間とすばやい故障検出も製膜コストを抑えるために不可欠です。したがってインライン測定システムが広く使用されています。コーター内部にはin-situ測定システム、コーター外部の測定用にはex-situシステムがあります。

in-situ測定システムはコーター内の様々な製膜ステップからの結果を組み合わせて、製膜プロセスの監視に役立ちます。品質管理と調整時間の最小化に不可欠です。したがって、層は透過率、抵抗率、シート抵抗率や他の光学特性を測定することによって特徴づけられ、監視されます。

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