Flash Lamp Annealing

加熱処理は薄膜テクノロジーで電気または光学特性を向上するためにしばしば使われる方法です。しかし従来の加熱処理は時間がかかり、エネルギーを大量に消費しました。さらに基板内に熱機械応力を発生させるので、故障につながる可能性があります。そして熱処理に長い時間が必要になります。これらの要素が薄膜テクノロジーでは拡散プロセスの原因となるので、追加バリヤー層を使う必要が出てきます。以上のような理由で製造プロセスがさらに複雑になり、コストが高くなりました。

それに対して、フラッシュランプアニーリングには重要なメリットがあります。基板内に熱機械応力がわずかしか、またはまったく発生しないので、拡散プロセスを抑制できます。それゆえ追加バリヤー層が不要になります。

フラッシュランプアニーリングは、製膜/表面の光学的・電気的特性を向上させます。VON ARDENNEは建材ガラス製膜のためにこのテクノロジーを使用することによって、このことを見事に実証してきました。さらにフラッシュランプアニーリングは、産業条件下で行われた産業関連のベンチスケール試験において、製品/サンプルのシート抵抗などの電気特性を著しく向上させました。

このテクノロジーに関して最も将来期待できるアプリケーションには、ポリマーおよびガラス上の透明導電層とゾルゲルコーティング、ラッカーやペイントの前処理があります。さらににフラッシュランプアニーリングは、ポリマー膜と装飾層の触覚的特性と機械的特性を向上するのに使用できます。

VON ARDENNEではパートナーにフラッシュランプアニーリングに関する当社のテクノロジーのノウハウを提供し、パートナーの皆様とさらに新しいアプリケーション分野を開発していきます。

金属、金属ペースト、金属酸化物、半導体などの導電層。以下の用途向き:
- 太陽光電池
- ディスプレイ
- OLED

反射防止、腐食防止、スクラッチ耐性。以下の用途向き:
- 家庭用品
- 建築
- 自動車産業
- 太陽光電池

ペイント、エナメル、ラッカー、ラミネートなどの反射層および装飾層。以下の用途向き:
- 表面仕上げ
- パッケージング
- 建材ガラス
- 自動車産業

フラッシュランプアニーリング [pdf]
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