Glow Discharge Device

VON ARDENNEグロー放電デバイスを使用した基板の前処理は、温度に敏感で非導電性物質と表面のクリーニングに理想的なソリューションです。わずかに密着しているだけの原子や分子が取り除かれるので、基板は低圧プラズマ放電によって非常に穏やかにクリーニングされます。

それゆえグロー放電デバイスは、孤立した表面層を持つポリマー膜、ガラス、金属(例えばラッカーを塗った表面または酸化被膜で覆われたアルミニウム層)のような基板上の吸着水膜を取り除くのに特に適しています。

グロー放電の明らかな利点はわずかな熱しか発生しないことです。したがって、この方法は基板を保護し、基板の製膜プロセスに少しだけ熱を加えます。

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