RDM/RDMT Magnetrons

RDM回転式デュアルマグネトロンは10キロワットから180キロワットまでの出力範囲をもつ幅広い範囲のACまたはDCプロセスに適しています。様々な種類のマグネット設計を装備可能で、最高のプロセス制御パフォーマンスを実現する完全統合のガス導入システムを提供します。

RDMT - Tシリーズマグネトロン:VON ARDENNEはマグネトロンスパッタ源テクノロジーをターボ分子ポンプと組み合わせて、新しいキーコンポーネントを生み出しました。それがTシリーズ マグネトロンです。

Tシリーズ マグネトロン [pdf]
テクノロジーコンピテンス
Production/Internet/Live