RSM/RSM-RSMT/RSMT Magnetrons

RSM回転式シングルマグネトロンは10キロワットから180キロワットまでの出力範囲をもつ幅広い範囲のDCプロセスに適しています。様々な種類のマグネット設計を装備可能で、最高のプロセス制御パフォーマンスを実現する完全統合のガス導入システムを提供します。

RSMT - Tシリーズマグネトロン:VON ARDENNEはマグネトロンスパッタ源テクノロジーをターボ分子ポンプを組み合わせて、新しいキーコンポーネントを生み出しました。それがTシリーズ マグネトロンです。

さらにTシリーズの回転式マグネトロンに新しいXシリーズ エンドブロックを装備しました。

Tシリーズ マグネトロン [PDF]
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