RSM回転式シングルマグネトロンは10キロワットから180キロワットまでの出力範囲をもつ幅広い範囲のDCプロセスに適しています。様々な種類のマグネット設計を装備可能で、最高のプロセス制御パフォーマンスを実現する完全統合のガス導入システムを提供します。
RSMT - Tシリーズマグネトロン:VON ARDENNEはマグネトロンスパッタ源テクノロジーをターボ分子ポンプを組み合わせて、新しいキーコンポーネントを生み出しました。それがTシリーズ マグネトロンです。
さらにTシリーズの回転式マグネトロンに新しいXシリーズ エンドブロックを装備しました。
RSM/RSM-RSMT/RSMT Magnetrons
テクノロジーコンピテンス