SSM/SSM-SSM Magnetrons

スタンダードシングルマグネトロン (SSM) はシングル源またはダブル源として設定されています。これにより、顧客はシングルターゲットまたはデュアルターゲットのアクティブ製膜のDCプロセスで作業でき、この製膜は共スパッタアプリケーションを可能にします。