CLUSTER Systems

モジュールシステム

VON ARDENNEクラスターシステムは、量産のためのツールを必要とする顧客や研究開発施設などの様々な技術的要求に応えるのに理想的です。

このことは新しいコーティングテクノロジーの開発、固有の特性と高い再現可能性をもつ層の作成に特に当てはまります。

本システムは異なるタスクに合わせて構成をカスタマイズできます。最大7室のプロセスチャンバー、1つ以上のロードロックを中央搬送チャンバーの周りに取り付けられます。すべてのチャンバーは、真空に関しても制御テクノロジーに関しても互いに分離されています。

VON ARDENNEのクラスターシステムは、最大で直径8inchまたは200mm x 200mmの顧客特有の基板の処理に適しています。破片や3次元の物体などサイズの小さな、または形状の不規則な基板にはキャリアを使用します。

概要

用途: architectural glazing, automotive, basic research, batteries, displays & touch panels, fuel cells, LED lighting, mechatronics (MEMS, MOEMS), medical devices, organic LEDs, photovoltaics, precision optics, sensors

基板形状: flat/rigid, flexible, three-dimensional

基板材料: glass, steel, wafers

製膜技術: ALD, electron beam technology, hot-wire CVD (HWCVD), magnetron sputtering down, magnetron sputtering up, magnetron sputtering vertical, plasma-enhanced CVD (PECVD), thermal evaporation

機能: active OLED layer, anti-fingerprint, anti-reflection, contact, corrosion protection, diffusion barrier, heat insulation, passivation, primer, reflection, semiconductor, solar control, TCO, wave length filter

成膜層および層構造: Double Low-E, Low-E, Solar Control, Triple Low-E

対応コンポーネント & システム:
Electron Beam Components
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software


該当装置

INLINE Systems

Modular Process Systems

LOAD LOCK Systems

モジュールシステム

Production/Internet/Live