SCALA

モジュール式製膜システム

SCALAはキャリアをベースにした基板搬送機能付きのモジュール式真空コーティングシステムです。ヘテロジャンクションセル新しい透明導電膜(TCO)や金属膜といったアプリケーション用途の為に設計されました。

モジュール式設計のおかげで、SCALAは顧客のニーズに合わせて構成可能です。

VON ARDENNEでは本システムの基本構成を2種類提供しています。SCALA LabXはロードロックを使用した/使用しないバッチ処理用のシングルエンドシングルエンドツールで、ラボ規模でのプロセスおよびアプリケーション開発に理想的です。

一方、SCALA PilotXはインライン運転用に設計されているのでパイロット生産に適しています。

概要

用途: architectural glazing, fuel cells, mobile devices, photovoltaics

基板形状: flat/rigid, three-dimensional

基板材料: aluminum, glass, metals, polymer, stainless steel, wafers

製膜技術: electron beam technology, magnetron sputtering down, magnetron sputtering up

機能: anti-reflection, contact, corrosion protection, decoration, heat insulation, passivation, scratch-resistant, solar control, TCO, wave length filter

成膜層および層構造: Ag, Al, AlOx, AZO, C, Co, Cr, Cu, Double Low-E, ITiO, ITO, Low-E, Ni, NiV, Si, SiN, SiOx, Solar Control, Ti, TiOx, Triple Low-E, Zn

対応コンポーネント & システム:
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software


該当装置

XENIA

ウェハ & ガラス製膜システム

INLINE Systems

Modular Process Systems

Fuel Cell

注目のテクノロジー

Production/Internet/Live