PIA|nova®

ガラス製膜システム

PIA|nova®はモジュール方式を採用したソーラーアプリケーション用横型ガラス製膜システムです。このコンセプトによってVON ARDENNEでは、顧客のニーズに合わせて最適な物理蒸着法 (PVD) テクノロジーを使った、薄膜製造装置を提供できるようになりました。

VON ARDENNEは数百台の製膜システム納入を通じて得た、長年の膨大なプロセスノウハウをこのプラットフォームに注ぎ込みました。PIA|nova®は、業界実証済みのテクノロジーと設計方式を組み合わせた、柔軟で生産性の高い最適な製造装置です。

概要

用途: photovoltaics

基板形状: flat/rigid

基板材料: glass

製膜技術: magnetron sputtering down

機能: contact, TCO

成膜層および層構造: Al, AZO, Cu, Ga, In, ITO, Mo

対応コンポーネント & システム:
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software


該当装置

Production/Internet/Live