XEA|nova®はキャリア返送機能付きインラインウェハ製膜システムです。ヘテロジャンクションセルの変換効率を高める新しい透明導電膜(TCO)や金属膜のために更なる進化を遂げました。
XEA|nova®はスパッタリング用の回転式マグネトロンや電子ビームガンのような様々な蒸着源を装備できます。クリーニングやエッチングのような基板の特殊処理は、真空状態か、基板を真空に入れる前に処理可能です。
XEA|nova®には、VON ARDENNEが太陽光電池産業に納入してきた140台以上の製膜システムから得られた経験が活かされています。本製品は、実証済みのテクノロジーと設計方式を組み合わせた、柔軟で生産性の高い製造装置をお探しのお客様に完璧な製品です。
用途: fuel cells, photovoltaics
基板形状: flat/rigid
基板材料: glass, metals, polymer, stainless steel, wafers
製膜技術: electron beam technology, magnetron sputtering down, magnetron sputtering up
機能: anti-reflection, contact, corrosion protection, passivation, TCO
成膜層および層構造: Ag, Al, AlOx, AZO, C, Co, Cr, Cu, ITiO, ITO, Ni, NiV, SiN, SiOx, Ti, TiOx, Zn
対応コンポーネント & システム：
Sputter Components
Pre-Treatment
