OPTA X

回転プレート製膜システム

OPTA X は高性能光学膜、特に多層構造を持つ光学多層システムに対応するVON ARDENNEの成膜装置です。製膜は水平に行われ、光学コーティングにメタモード、CARS*、反応性および非反応性スパッタリングといった様々なプロセスが利用可能です:

このシステムには、マグネトロンおよび/またはプラズマ源を組合わせる為に使用できる5つのポートが備わっています。in-situ測定テクノロジーは製膜プロセスの監視と調整にも利用できます。

OPTA X には、モジュール式自動処理システムが装備されていて、様々な形状の基板からなるシステムの安全な移載が可能になり、基板はカスタマイズされたキャリアでシステムに送られます。

プロセスと生産の要求に応じて、マガジンロードロックや後処理チャンバーなど異なる種類のモジュールを組み合わせることができます。

概要

用途: precision optics, semiconductor devices

基板形状: flat/rigid, three-dimensional

基板材料: glass, polymer, wafers

製膜技術: magnetron sputtering down, magnetron sputtering up

機能: , anti-reflection, reflection, wave length filter


該当装置

Production/Internet/Live