GC120VCR

ガラス製膜システム

VON ARDENNE GC120VCRは、平板ガラス基板または他の材料に金属および酸化物薄膜多層システムを製膜するためのインライン製膜システムです。基板は垂直に機械の中を誘導されます。

大面積製膜用の実証済み真空製膜装置の開発と製造におけるリーディングカンパニーとして、VON ARDENNEはPDVテクノロジーに関する幅広いノウハウと経験をGC120VCRプラットフォームに反映させました。このシステムの信頼性は、すでにPV産業で十分に実証されています。

概要

用途: displays & touch panels, photovoltaics, precision optics

基板形状: flat/rigid

基板材料: glass

製膜技術: magnetron sputtering vertical

機能: anti-reflection, contact, reflection, TCO

成膜層および層構造: Ag, Al, AZO, Cr, Cu, ITiO, ITO, Mo, Mo:AlOx, NbOx, Ni, NiV, SiN, SiOx, Ti, TiOx

対応コンポーネント & システム:
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software


該当装置

INLINE Systems

Modular Process Systems

OPTA X

回転プレート製膜システム

TOMA X

Drum Coating System

HISS

Horizontal Coating System

Production/Internet/Live