FOSA CXは、ポリマー膜上への薄い機能層のロール・ツー・ロール製膜用のコンパクトな生産ツールです。大規模な生産に理想的で、シングルドラムアプリケーション向けに最適化されています。
さらに自由に構成可能なコンパートメント構造を活かして、メンテナンスが両側から簡単にできます。
FOSA CX
ウェブコーティングシステム
概要
用途: architectural glazing, automotive, displays & touch panels, mobile devices, packaging, photovoltaics, semiconductor devices
基板形状: flexible
基板材料: polymer
製膜技術: magnetron sputtering on drum
機能: adhesion agent , anti-reflection, contact, diffusion barrier, electrochromism, flexible PCB/FCCL, heat insulation, passivation, solar control, TCO
成膜層および層構造: Ag, Al, AlOx, AZO, Cr, Cu, Double Low-E, ITO, Low-E, Mo, NbOx, SiN, SiOx, Solar Control, Triple Low-E, W
対応コンポーネント & システム：
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software
