VON ARDENNE GC120VCRは、平板ガラス基板または他の材料に金属および酸化物薄膜多層システムを製膜するためのインライン製膜システムです。基板は垂直に機械の中を誘導されます。
大面積製膜用の実証済み真空製膜装置の開発と製造におけるリーディングカンパニーとして、VON ARDENNEはPDVテクノロジーに関する幅広いノウハウと経験をGC120VCRプラットフォームに反映させました。このシステムの信頼性は、すでにPV産業で十分に実証されています。
GC120VCR
ガラス製膜システム
概要
用途: displays & touch panels, photovoltaics, precision optics
基板形状: flat/rigid
基板材料: glass
製膜技術: magnetron sputtering vertical
機能: anti-reflection, contact, reflection, TCO
成膜層および層構造: Ag, Al, AZO, Cr, Cu, ITiO, ITO, Mo, Mo:AlOx, NbOx, Ni, NiV, SiN, SiOx, Ti, TiOx
対応コンポーネント & システム：
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software
