VON ARDENNEの金属箔製膜システムMSC1250は、物理蒸着法 (PVD) をベースとした金属箔上への薄い太陽光吸収製膜蒸着用生産システムです。モジュール式プラットフォームをベースにしています。エア・ツー・エア方式を採用しているので、外部のコイラおよびハンドリング装置を用いた連続処理が可能です。
MSC1250には前処理や製膜用の多様なコンポーネントを装備できます。様々なPVD処理によって複層の金属や酸化物を蒸着することで、複雑で高機能の層スタックを形成できます。
MSC1250 Solar
金属箔製膜システム
概要
用途: solar thermal systems
基板形状: flexible
基板材料: aluminum, copper, steel
製膜技術: electron beam technology, magnetron sputtering up
機能: absorption
成膜層および層構造: Al, Cr, CrN, CrO, CrON, SiN, SiOx, TiOC, TiOx
対応コンポーネント & システム：
Electron Beam Components
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software
