XEA|nova®

概要

用途: fuel cells, photovoltaics

基板形状: flat/rigid

基板材料: glass, metals, polymer, stainless steel, wafers

製膜技術: electron beam technology, magnetron sputtering down, magnetron sputtering up

機能: anti-reflection, contact, corrosion protection, passivation, TCO

成膜層および層構造: Ag, Al, AlOx, AZO, C, Co, Cr, Cu, ITiO, ITO, Ni, NiV, SiN, SiOx, Ti, TiOx, Zn

対応コンポーネント & システム:
Sputter Components
Pre-Treatment


該当装置

Fuel Cell

注目のテクノロジー

Production/Internet/Live