XENIAはVON ARDENNE独自の大面積スパッタリングテクノロジーをベースにしたインラインウェハ製膜システムです。コーターは非常に幅が広く、多くの基板を同時に処理できるので、非常に低コストで生産性の高いアプリケーションに特に適しています。他の小型基板、非常に薄い基板にも適しています。XENIAの代表的なアプリケーションの一つは高変換効率太陽電池製造です。
モジュール式設計のおかげで、高性能のTCO層、あるいは金属や金属酸化物など他の材料のスパッタ製膜用回転式マグネトロンをXENIAに装備できます。真空状態か、基板を真空に入れる前にクリーニングやエッチングで基板の前処理ができます。
XENIAには、VON ARDENNEが太陽光電池産業に140台以上の製膜システムを納入してきた経験が活かされています。本製品は、実証済みのテクノロジーと設計方式を組み合わせた、柔軟で生産性の高い製造装置をお探しのお客様に完璧な製品です。
XENIA
ウェハ & ガラス製膜システム
概要
用途: photovoltaics
基板形状: flat/rigid
基板材料: glass, metals, polymer, wafers
製膜技術: magnetron sputtering down
機能: anti-reflection, contact, passivation, TCO
成膜層および層構造: Ag, Al, AlOx, AZO, Cu, ITiO, ITO, Ni, NiV, Si, SiN, SiOx, Ti, TiOx, Zn
対応コンポーネント & システム：
Sputter Components
