RMM Mагнетрон

Вращающийся многомодовый магнетрон RMM основан на вращающемся дуальном магнетроне VON ARDENNE. RMM более технологически гибкий, так как его можно использовать в двух режимах: переменного и постоянного тока. Оптимизированный дизайн анодов обеспечивает пользователю высокую надежность, высокую скорость осаждения и стабильные технологические условия в процессах на постоянном токе. Для оптимальной работы мы рекоммендуем биполярный источник питания.

Концевой блок серии Х [PDF]
Технологическая компетенция