Отжиг импульсной лампой

Процессы отжига в тонкопленочных технологиях часто являются предпочтительным инструментом для улучшения электрических и оптичесих характеристик. Однако, традиционные процессы отжига слишком время- и энергозатратны. Более того, они приводят к термомеханическому напряжению на подложке, что может привести к дефектам. Они также требуют долгой термообработки. В тонкопленочных технологиях это является причиной диффузионных процессов и приводит к необходимости использовать дополнительный барьерный слой. По всем вышеперечисленным причинам производственный процесс становится очень дорогим и сложным.

 

 Отжиг импульсной лампой, с другой стороны, имеет важные преимущества: не приводит вовсе или лишь в малой степени к термомеханическому напряжению на подложке и подавляет диффузионные процессы. Таким образом, отпадает необходимость в дополнительном барьерном слое.

 

Отжиг импульсной лампой улучшает оптические и электрические характеристики покрытия/поверхности. VON ARDENNE успешно продемонстрировала, что используя эту технологию можно улучшить покрытие архитектурно-строительного стекла. Кроме того, отжиг импульсной лампой значительно улучшает такие электрические характеристики, как поверхностное сопротивление слоев продуктов/образцов в техногенных, лабораторных тестах в промышленных условиях.

 

Среди самых многообещающих сфер применения этой технологии находятся прозрачная электропроводящая пленка и золь-гелевое покрытие на полимере и стекле, а также предварительная обработка лака и краски. Кроме того, отжиг импульсной лампой может быть использован для улучшения тактильных и механических характеристик полимерной пленки и декоративных слоев.

 

Электропроводящие слои, такие как металл, металлическая паста, оксиды металла, полупроводники для

  • Фотовольтаики
  • Дисплеев
  • ОСД (OLED)

Антиотражающие, антикоррозионные и стойкие против механического контактного повреждения золь-гелевые покрытия для

  • Хозтоваров
  • Архитектуры
  • Автомобильной индустрии
  • Фотовольтаики

Отражающие и декоративные слои,такие как краски, эмали, лаки и композиционные материалы для

  • Обработки поверхности
  • Упаковки
  • Автомобильной индустрии
Отжиг импульсной лампой [pdf]
Технологическая компетенция