Программное обеспечение для тримминга и шимминга

Онлайн модуль для тримминга и шимминга VON ARDENNE – это приложение на веб-основе, которое позволяет быструю оптимизацию однородности по толщине (% диапазон) отдельных тонких слоев.

 

После ввода данных кривой изменения толщины и актуальных параметров регулирующего газа, программное обеспечение предлагает новые параметры регулирующего газа, которые ведут к улучшенной однородности.

 

Таким же образом могут быть рассчитанны оптимальные настройки для магнитных планок (шимминг).

Применение:

  • Автоматическая настройка однородности после смены мишени
  • Пит-стоп коррекция долговременного дрейфа кривой изменения толщины

Преимущества:

  • Настройка методом проб и ошибок заменяется испытанным на практике математическим методом
  • Наилучшие настройки достигаются обычно после 3-4 тестов с единичным слоем и временные затраты на техническое обслуживание сокращаются
  • Улучшенное качество продукта
  • Позволяет применение при высоких требованиях к однородности
  • Простой и удобный в пользовании
  • Работает на любом устройстве с подключением к интернету и браузером, к примеру, персональный компьютер на рабочем месте, смартфон,...
Trimming&Shimming [pdf]
Технологическая компетенция