SSM/SSM-SSM Mагнетрон

Стандартный одинарный магнетрон (SSM) сконфигурирован как одиночный или как двойной источник нанесения покрытия. SSM дает возможность клиенту, работая с процессами на постоянном токе, осуществлять осаждение с одиночной или двойной мишенью, обеспечивая тем самым возможность сораспыления.


Технологическая компетенция